在積體電路晶片生產(chǎn)中,對微振有較高要求的通常為光刻設(shè)備以及掃描電子顯微鏡提工精度保障。
所以對積體電路生產(chǎn)廠區(qū)微振動(dòng)環(huán)境要求嚴(yán)格。
臺灣宏富信精密儀器應(yīng)用中芯國際磨床和風(fēng)機(jī)等設(shè)備,儀器對精密設(shè)備振動(dòng)分析、故障檢測、動(dòng)平衡調(diào)試等提供幫助。
如精密磨削砂輪動(dòng)平衡和車間風(fēng)機(jī)等設(shè)備降低振動(dòng)、提升精度、減少噪音。
風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子調(diào)試數(shù)據(jù):從監(jiān)測轉(zhuǎn)子的1、2、3、4四個(gè)點(diǎn)的位置來看。
2號點(diǎn)振動(dòng)值最大17.861mm/s而且靠近轉(zhuǎn)子葉輪,這個(gè)位置適合動(dòng)平衡調(diào)試。
2號點(diǎn)動(dòng)平衡後的數(shù)值:
12.82mm/s
8.66mm/s
7.2mm/s
5.6mm/s
4.01mm/s
3.8mm/s
0.42mm/s
動(dòng)平衡後振動(dòng)值呈下降趨勢。
2號點(diǎn)動(dòng)平衡後,在測試其他三個(gè)點(diǎn)位水準(zhǔn)位振動(dòng)都有改善降低。