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現(xiàn)場動(dòng)平衡儀成功應(yīng)用中芯國際半導(dǎo)體公司
來源: | 作者:mike | 發(fā)布時(shí)間: 2021-03-31 | 941 次瀏覽 | 分享到:

在積體電路晶片生產(chǎn)中,對微振有較高要求的通常為光刻設(shè)備以及掃描電子顯微鏡提工精度保障。
所以對積體電路生產(chǎn)廠區(qū)微振動(dòng)環(huán)境要求嚴(yán)格。
臺灣宏富信精密儀器應(yīng)用中芯國際磨床和風(fēng)機(jī)等設(shè)備,儀器對精密設(shè)備振動(dòng)分析、故障檢測、動(dòng)平衡調(diào)試等提供幫助。
如精密磨削砂輪動(dòng)平衡和車間風(fēng)機(jī)等設(shè)備降低振動(dòng)、提升精度、減少噪音。


臺灣動(dòng)平衡儀

中芯國際集成電路製造有限公司領(lǐng)xian的集成電路晶圓代工企業(yè)之一,也是內(nèi)地技術(shù)先進(jìn)、
配套完善、規(guī)模大、跨國經(jīng)營的集成電路製造企業(yè)集團(tuán),提供0.35微米到14納米不同技術(shù)節(jié)點(diǎn)的晶圓代工與技術(shù)服務(wù)。




風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子調(diào)試數(shù)據(jù):從監(jiān)測轉(zhuǎn)子的1、2、3、4四個(gè)點(diǎn)的位置來看。

2號點(diǎn)振動(dòng)值最大17.861mm/s而且靠近轉(zhuǎn)子葉輪,這個(gè)位置適合動(dòng)平衡調(diào)試。

2號點(diǎn)動(dòng)平衡後的數(shù)值:

12.82mm/s

8.66mm/s

7.2mm/s

5.6mm/s

4.01mm/s

3.8mm/s
0.42mm/s

動(dòng)平衡後振動(dòng)值呈下降趨勢。

2號點(diǎn)動(dòng)平衡後,在測試其他三個(gè)點(diǎn)位水準(zhǔn)位振動(dòng)都有改善降低。