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現(xiàn)場(chǎng)動(dòng)平衡儀成功應(yīng)用中芯國(guó)際半導(dǎo)體公司
來(lái)源:
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作者:mike
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發(fā)布時(shí)間: 2021-03-31
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在積體電路晶片生產(chǎn)中，對(duì)微振有較高要求的通常為光刻設(shè)備以及掃描電子顯微鏡提工精度保障。
所以對(duì)積體電路生產(chǎn)廠區(qū)微振動(dòng)環(huán)境要求嚴(yán)格。
臺(tái)灣宏富信精密儀器應(yīng)用中芯國(guó)際磨床和風(fēng)機(jī)等設(shè)備，儀器對(duì)精密設(shè)備振動(dòng)分析、故障檢測(cè)、動(dòng)平衡調(diào)試等提供幫助。
如精密磨削砂輪動(dòng)平衡和車(chē)間風(fēng)機(jī)等設(shè)備降低振動(dòng)、提升精度、減少噪音。
中芯國(guó)際集成電路製造有限公司領(lǐng)xian的集成電路晶圓代工企業(yè)之一，也是內(nèi)地技術(shù)先進(jìn)、
配套完善、規(guī)模大、跨國(guó)經(jīng)營(yíng)的集成電路製造企業(yè)集團(tuán)，提供0.35微米到14納米不同技術(shù)節(jié)點(diǎn)的晶圓代工與技術(shù)服務(wù)。
風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子調(diào)試數(shù)據(jù)：從監(jiān)測(cè)轉(zhuǎn)子的1、2、3、4四個(gè)點(diǎn)的位置來(lái)看。
2號(hào)點(diǎn)振動(dòng)值最大17.861mm/s而且靠近轉(zhuǎn)子葉輪，這個(gè)位置適合動(dòng)平衡調(diào)試。
2號(hào)點(diǎn)動(dòng)平衡後的數(shù)值：
12.82mm/s
8.66mm/s
7.2mm/s
5.6mm/s
4.01mm/s
3.8mm/s
0.42mm/s
動(dòng)平衡後振動(dòng)值呈下降趨勢(shì)。
2號(hào)點(diǎn)動(dòng)平衡後，在測(cè)試其他三個(gè)點(diǎn)位水準(zhǔn)位振動(dòng)都有改善降低。
